平成１９年度実績報告書

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2.2 センシングデバイス部門 センシングデバイス部門では,カーボンナノチューブガスセンサ,半導体バイオセンサ,生体センサ,テラヘルツイメージングセンサ,超伝導磁気センサを,工学研究科の片山光浩教授,杉野隆教授,小山内実講師,レーザーエネルギー学研究センターの斗内政吉教授,基礎工学研究科の糸﨑秀夫教授がそれぞれを担当し,開発を進めている.支援部門からは吉村政志准教授(材料開発支援部門)が高品質非線形光学結晶,大森裕教授がフレキシブル発光・受光デバイス材料を提供する.さらに,谷口研二教授,松岡俊匡准教授(インテグレーション支援部門)の保有するアナログ信号処理技術を組み込み,集積回路とのインテグレーションを通して,高感度で利便性の高いセンシングデバイスを開発する.例えば,DAST などの高品質な非線形光学結晶を用いて,テラヘルツ光源および検出器の性能向上をはかり,これらを組み合わせることにより,半導体分析,危険薬物検査等へ応用可能な,高速かつ低コストなテラヘルツセンシング・イメージングシステムを開発する.また,カーボンナノチューブガスセンサと集積回路とのインテグレーションを通して,センサに分子認識技術や無線通信の技術を組み込み,超高感度・低消費電力駆動ガスセンサを用いた大気汚染モニタリング等のスマート集積化センシングシステムの開発を目指す.2 研究部門成果報告 半導体バイオセンサ ナノチューブガスセンサー 片山光浩 教授 杉野隆 教授 超伝導磁気センサ 糸﨑秀夫 教授 斗内政吉 教授 多孔質ｽｲｵﾝ交換膜(ﾊﾞｸﾃﾘｱ, 血液,生体液等)センシング部SD多孔質ｽｲｵﾝ交換膜(ﾊﾞｸﾃﾘｱ, 血液,生体液等)センシング部SD脳神経活動のイメージング テラヘルツ波を用いた半導体集積回路 およびICカードのイメージング イ 10 nm Pt修飾単層ナノチューブによる COの高感度・選択検知 生体センサ 小山内実 講師 センシングデバイス部門 テラヘルツイメージングセンサ 0.140.120.100.080.060.040.020.00Sensor response (-∆G/G0)300250200150100500Time (s) 1 ppm 5 ppm 10 ppmCO17

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